Honghu (Suzhou) Semiconductor Technology Co.，Ltd

Introducción al módulo de transferencia atmosférica de Honghu
Construcción de un solo brazo/dos brazos, reversible, disponible bajo demanda;
El algoritmo de interpolación es compatible con VIA (punto de inflexión) y admite múltiples FOUP;
Servomotor de CA de eje completo, codificador absoluto de 23 bits;
Tecnología de control de movimiento de aceleración y desaceleración en curva S, para lograr un manejo de alta velocidad y alta precisión;
Métodos generales de fijación de obleas: adsorción al vacío, sujeción de bordes;
Nivel de limpieza: ISO Class1;
Material del dedo: fibra de carbono, aleación de aluminio, cerámica de alta pureza y otras opciones;
De acuerdo con las características del material de la oblea, se diseña y proporciona el esquema de sujeción óptimo