Honghu (Suzhou) Semiconductor Technology Co.，Ltd

Piezas principales de VTM: módulo de transferencia de vacío de obleas (autoinvestigación de Hong Hu)
Introducción al módulo de transferencia de vacío de Honghu
Eje R (radial):
Rango de medición: 1010 mm
Repetibilidad: ±0,05 mm
Eje T (rotación):
Rango: Rotación infinita
Precisión de posicionamiento repetido: ±0.003°
Eje Z (vertical): 50 mm, 100 mm, 150 mm
Precisión de posicionamiento repetido: ±0,05 mm
Tasa de fuga: 1*10-9>5*10-7 vaccum
Particle Perfermence: ISO Level 1
Power Supply: 85 to 265VAC/50HZ, 2.65A/230VAC
Communication: Ethernet Teach Method: Teach Pendant and Robot Studio Software
Operating temperature: 10ºC-40ºC
Storage temperature: -25ºC to 50ºC
Humidity: 50% to 80% (non-condensing)>